Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси

Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси

Реферат

 

1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 ^oC -70^oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсилана, парогазовую смесь предварительно барботируют через смесь жидких хлорсиланов, состав которой соответствует соотношению хлорсиланов в исходной парогазовой смеси, причем температуру на второй ступени поддерживают равной -75,5 ^oC -115^oC.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что вывод целевого продукта начинают при конденсации хлорсиланов из парогазовой смеси, в которой концентрация дихлорсилана соответствует состоянию насыщения при температуре -70 ^oC -75^oC, а заканчивают при конденсации парогазовой смеси, в которой концентрация дихлорсилана равна исходной.

3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что барботирование парогазовой смеси через смесь жидких хлорсиланов ведут при -40 ^oC -50^oC.