Гуржий А.Е.

 Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечени...

 1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 oC -70oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсила...