Гранков И.В.

 1. Устройство для непрерывного получения кремния осаждением его из газовой фазы на исходную основу, включающее реакционную камеру, снабженную нагревателями, штуцерами для подачи и отвода газов и механизмом перемещения получаемого кремния, отличающееся тем, что, с целью повышения чистоты процесса, нагреватели выполнены в виде экранов из теплопроводящего материала, установлены внутри реакци...

 Способ контроля герметичности теплообменных аппаратов с теплоносителем, содержащим воду, в процессе непрерывной переработки легкогидролизующихся жидких галогенидов, заключающийся в регистрации продукта гидролиза в потоке галогенида, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и надежности, в качестве регистрируемого продукта гидролиза выбирают твердые частицы, измеряют их ко...