Устройство для непрерывного получения кремния

Устройство для непрерывного получения кремния

Реферат

 

1. Устройство для непрерывного получения кремния осаждением его из газовой фазы на исходную основу, включающее реакционную камеру, снабженную нагревателями, штуцерами для подачи и отвода газов и механизмом перемещения получаемого кремния, отличающееся тем, что, с целью повышения чистоты процесса, нагреватели выполнены в виде экранов из теплопроводящего материала, установлены внутри реакционной камеры, закреплены в ее боковых стенках и снабжены приводами горизонтального перемещения и управления, размещенными вне реакционной камеры, и над ней установлены шлюзовая и промежуточная камеры для подачи и ввода в реакционную камеру исходной основы, выполненной в виде стержня из кремния.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что шлюзовая камера снабжена люком для загрузки, захватным приспособлением для закрепления исходной основы, установленным с возможностью вертикального перемещения, и отделена шибером от промежуточной камеры, которая снабжена дополнительным нагревателем для сваривания торца исходной основы с торцом кремния, получаемого в реакционной камере.

3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что механизм перемещения получаемого кремния размещен под реакционной камерой, соединен с ней охлаждаемой трубой и выполнен в виде двух гидрозажимов, один из которых неподвижен, а другой установлен под первым с возможностью вертикального перемещения.

4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что нагреватели установлены в реакционной камере ярусами друг над другом и каждый ярус содержит их четное число.