Голованивский К.С.

 Источник многозарядных ионов, содержащий высокочастотный генератор, катушки постоянного тока и систему извлечения ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности тока и снижения удельных энергозатрат, источник снабжен цилиндрическим резонатором, расположенным соосно и симметрично с катушками постоянного тока.

 Источник многозарядных ионов по авт.св. 760821, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности тока многозарядных ионов, резонатор снабжен диэлектрической камерой, а система извлечения ионов выполнена в виде высоковольтного и заземленного электродов, установленных в упомянутой камере.

 Источник многозарядных ионов, содержащий диэлектрическую вакуумную камеру с системой подачи газа, установленную внутри высокочастотного резонатора с системой ВЧ-питания, узлы ввода мощности которого расположены радиально в одной плоскости с осью системы извлечения ионов, образованной высоковольтным электродом, расположенным по одну сторону от оси устройства и подключенным к системе питани...

 Способ нагрева плазмы до релятивистских температур, включающий создание и удержание первоначально холодной плазмы в статических магнитных полях открытых ловушек, последующий нагрев плазмы под воздействием электромагнитного СВЧ-поля в режиме электронного циклотронного резонанса, отличающийся тем, что, с целью увеличения КПД нагрева плазмы, нагрев плазмы осуществляют при одновременном возде...

 Источник многозарядных ионов, содержащий вакуумную камеру, магниты, создающие магнитное поле остроугольной конфигурации, электроды, систему создания плазмы и систему экстракции ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности источника и увеличения тока выводимых ионов, источник дополнительно снабжен двухмодовым резонатором, помещенным между одноименными полюсами магнитов, а сис...

 1. Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, содержащее магнитную систему, вакуумную систему, подложкодержатель, источник высокочастотной энергии и резонатор с отрезками запредельных волноводов, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости осаждения пленок при уменьшении энергозатрат на поддержание магнитного поля и повышения коэффициента использования...

 1. Способ генерации атомарных отрицательных ионов водорода, включающий получение плазмы путем зажигания газового разряда в металлической камере и последующее вытягивание отрицательных ионов двухэлектродной системы экстракции, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и стабильности генерации отрицательных ионов водорода, плазму получают путем зажигания безэлектродного микрово...

 1. Генератор потока диссоциированных молекул, содержащий систему формирования магнитного поля, кварцевую камеру, размещенную в резонаторе с двумя соосными отверстиями, через которые внутренняя полость камеры при помощи двух трубчатых отводов сообщается с системой напуска газа и системой откачки, отличающаяся тем, что, с целью повышения доли диссоциированных молекул в потоке газа, система...

 Генератор потока отрицательных ионов водорода, содержащий резонатор с системой патрубков для ввода молекулярного газа, магнитную систему с постоянным магнитом и электромагнитными катушками запуска, электронный эмиттер, расположенный на выходе из резонатора, и систему извлечения ионов, выполненную в виде двух металлических сеток, отличающийся тем, что, с целью увеличения интенсивности пото...