Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния
Патент 1400464
Авторы
Классы МПК
Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния
Реферат
1. Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, содержащее магнитную систему, вакуумную систему, подложкодержатель, источник высокочастотной энергии и резонатор с отрезками запредельных волноводов, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости осаждения пленок при уменьшении энергозатрат на поддержание магнитного поля и повышения коэффициента использования исходного материала путем создания в резонаторе плазмы с плотностью выше критической и поддержания ее в условиях верхнегибридного резонатора, устройство дополнительно содержит диэлектрическую вакуумную трубу, охватываемую резонатором, расположенную соосно с последним, и коаксиальные относительно вакуумной трубы электропроводящие цилиндры с наружным диаметром, меньшим внутреннего диаметра диэлектрической трубы на величину зазора, определяемого температурными коэффициентами расширения материалов трубы и цилиндра, а диаметр трубы больше диаметра подложки.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что магнитная система, вакуумная система, подложкодержатель и электропроводящие цилиндры расположены симметрично резонатору.