ЗЫБИН СЕРГЕЙ НИКОЛАЕВИЧ

  и\тф а . сн;;„ О" Я„":, л 1 л ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистическик Республик (1 1>787145 l с К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 14.08.78(21) 2654575/25-08 (51)M. Кл. B 23 P 1/04 с присоединением заявки J% Государственный комитет (23) П риоритет ао делам изобретений и открытий Опубликовано 15.12.80. Бюллетень И 46 j...

  Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем, в частности к устройствам для обработки изделий электронной техники в жидкостях, является усовершенствованием авт. св. N 819231 и позволяет улучшить качество перемешивания за счет расширения диапазона колебаний и интенсификации перемешивания жидкостей в вертикальной плоскости. Гибкие полые элементы выполнены с пере...