ВОРОНЦОВ ЛЕОНИД ВИКТОРОВИЧ

  ОпНСАННЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к ввт. свид-ву (22) Заявлено 25. 12. 78 (21)2700528/18-21 (51) М с присоединением заявки Йо (23) Приоритет G 0 l R 23/16 Государственный комитет СССР яо делам иэобретений и открытий Опубликовано 2Ы280. Бюллетень Но 47 Дата опубликования описания 231280 (53) УДК 621 °...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам измерения толщины полупроводниковых слоев. Цель изобретения - расширение диапазона типов контролируемых полупроводниковых слоев путем исключения влияния толщины слоя и качества р-п-переходов на результаты измерения. Облучают полупроводниковый слой, помещенньй вплотную между металлическим зондом и металлическим...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Цель изобретения - уменьшение разброса параметров за счет снижения неоднородности температурного поля по пластине. В рабочую камеру введены два электрода от высоковольтного постоянного источника питания. Один из электродов представляет собой сетку из...