БЫКОВ А.Ф.

  нц8!3997 ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлсно 25.12.79 (21) 2857988/24-06 с присоединением заявки _#_o (23) П р нор итет (43) Опубликовано 23.10.82. Бюллетень Ке 39 (45) Дата опубликования описания 23.10.82 (51) М. K. . F 010 5/02 1= 01D 5/30 Государственный комитет СССР...

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы. Целью изобретения является повьшение эффективности и удобства обслуживания устройства.за счет, увеличения числа покрываемых подложек без разборки и разгерметизации системы . В подложкодержатель 6, связанный с захватом 1.S , устанавливают подложку и вводят под нагревательный блок 3. BKjno4aroT электромагн...

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения оптических и защитных покрытий и касается устройств для нанесения тонких пленок на подложки из газовой фазы, а точнее устройств для получения зеркальных покрытий с высокой отражательной способностью и механической проч-. ностью. Цель изобретения - снижение расхода реагентов путем улучшения организации потока парогазовой смеси н о...