Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы. Целью изобретения является повьшение эффективности и удобства обслуживания устройства.за счет, увеличения числа покрываемых подложек без разборки и разгерметизации системы . В подложкодержатель 6, связанный с захватом 1.S , устанавливают подложку и вводят под нагревательный блок 3. BKjno4aroT электромагнитную катушку 5 и проводят подготовительные операций (герметизацию, нагрев и зат Полнение системы инертным газом). Подают под тарелку 14 с исходным веществом горячий газ-Иоситель и непосредственно к поверхности подложки - газ-реагент. После нанесения покрытий отключают электромагнитную катушку 5 и с помощью штока 16 с захватом 15 выводят подпожкодержатель 6 в камеру - шлюэ 18. Производят замену обрабатываемой подложки. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. CLO сЬ 00 о О1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИ1(РЕСПУБЛИК ао

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 ъ

2 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (46) 23. 07. 91, Бюл. 11 27 (61) 1194042 (21) 3967495/02 (22) 25.07. 85 (71) Институт неорганической химии

СО АИ СССР (72) А.Ф.Быков, Н.В.Гельфонд, С.В.Земсков, И;К.Игуменов, И.Г.Ларио-. нов и С.М.Царев (53) 621.793.59(088.8) (56) .Авторское свидетельство СССР

Ф 1194042, кл. С 23 С 16/00, 1983. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ (57) Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы. Целью изобретения является повышение эффективности и удобства обслуживания устройства.эа счет. уве1,SU„„ 16305 А2 (51) 5 С 23 С 16/00 личения числа покрыв,емых подложек без разборки и разгерметизации системы. В подложкодержатель 6, связанный с захватом 15, устанавливают подложку и вводят под нагревательный блок 3. Включают электромагнитную катушку 5 и проводят подготовительные операции (герметизацию, нагрев и за йолнение системы инертным газом).

Подают под тарелку 14 с исходным веществом горячий газ-носитель и непосредственно к поверхности подложки— газ-реагент. После нанесения покрытий отключают электромагнитную катушку 5 и с помощью штока 16 с захватом

15 выводят подложкодержатель 6 в ка- : g

Ф меру - шлюз 18. Производят замену обрабаемваемой подповкп. в.п. Ф-пм, Q)

С:

1 l3I630

Изобретение относится к оборудованию для нанесения оптических и защитных покрытий из газовой фазы и касается устройств для нанесения тонких пленок на подложки, в частности устройств для получения зеркальных пок-. рытий с высокой отражательной способностью и механической прочностью, используемых в качестве оптических элементов лазеров..

: I0 !

Целью изобретения является повышение эффективности работы и удобства обслуживания устройства. 15

На фиг.1 изображено устройство, разрез; на фиг.2 — подложкодержатель с нагревателем, разрез.

Устройство содержит вертикальный 20 герметичный корпус 1, крышку 2, нагревательный блок 3 с нагревателем 4 и установленной на нем электромагнитной катушкой 5 н подложкодержатель 6 для механического закрепления обрабатываемой подложки 7. Соосно подложке 7 установлено приспособление для ввода газа-реагента, выполненное в виде полого перфорированного кольца

8, сообщенного с наружной трубкой 9 для подачи газа - реагента. На нижней крьппке 10 установлен блок 11 подачи газов с встроенным s него нагревателем 12 и трубкой 13 для подачи газа-носителя, 35 на который установлена перфорированная тарелка 14, заполненная пористым материалом с нанесенным .на него веществом для покрытия. Подложкодержатель 6 вставлен в захват 15, связан- 40 ный со штоком 16, пропущенным через уплотненное отверстие 17 в камерешлюзе 18. Имеется аналогичное приспособление для смени тарелки 14 (условно не показано). К крышке 2 прикреп- 4S лены трубка 19 для отвода отработанных газов и привод вращения нагрева-. тельного блока 3 (условно не показан).

На нагревательном блоке 3 смонтирован магнитопровод 20 и немагнитная 50 вставка 21 при этом нагревательный блок 3 и подложкодержатель б выполнены из магнитного материала, а магиитопровод 20 смонтирован с возможно" стью взаимодействия с подложкодержа- 55 телем 6.

1 1

Устройство работает следующим образом °

5 2

Устанавливают подложкодержатель 6 с подложкой 7 под нагренательньй блок 3, включают электромагнитную катушку 5 и проводят подготовитель" ные операции по герметизации, нагреву и заполнению системы инертным газом. Затем подают под тарелку 14 с исходным веществом горячий газ — носитель и непосредственно к поверхности подложки 7 — гаэ-реагент. После нанесения покрытий отключают электромагнитную катушку 5 и с помощью штока 16 с захватом 15 выводят подложку

7 в сборке с подложкодержателем 6 в камеру-шлюз 18, заменяя ее новой.

Все операции проводятся без разборки и разгерметизации системы, а также без промежуточного охлаждения. Аналогично проводят замену перфорированной тарелки 14 с веществом для покрытия.

Предлагаемое устройство имеет следующие преимущества.

Повышает производительность труда за счет увеличения числа покрываемых подложек беэ разборки корпуса и раз- . герметизации системы.

Повышает удобство в обслуживании за счет автоматизации операции прижима подложкодержателя к нагревательному блоку.

Сокращает расход электроэнергии за счет сокращения промежуточных опе. раций отключения нагревателей и охлаждения системы, а.также улучшения теплового контакта подложки с нагревательным блоком.

Сокращает расход газа за счет сокращения операций по разгерметизации системы.

Форм у ла изобретения

1. Устройство для нанесения покрытий из, газовой фазы по авт. св.

У 1194042, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения эффективности работы и удобства обслуживания устройства, Оно дополнительно снабжено магнитопроводом с электромагнитной катушкой, установленным на нагревательном блоке с возможностью взаимодействия с подложкодержателем, при этой нагревательный блок и подложкодержатель выполнены иэ магнитного материала.

2.. Устройство по п.I о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что нагревательный блок дополнительно снабжен приводом вращения.

I 316305

Редактор С.Кулакова

Заказ 3128

Производственно-полиграфическое предпр|-ятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4, fur

У

7 4риг. Z

Составитель B.Трегубов

Техред Н. Глущенко Корректор С.Шекмар

Тираж 564 Подписное

ВНИИНИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

li3035. Г1осква, K-35;- Раушская наб., д. 4/5