ЦАРЕВ С.М.

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы. Целью изобретения является повьшение эффективности и удобства обслуживания устройства.за счет, увеличения числа покрываемых подложек без разборки и разгерметизации системы . В подложкодержатель 6, связанный с захватом 1.S , устанавливают подложку и вводят под нагревательный блок 3. BKjno4aroT электромагн...

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения оптических и защитных покрытий и касается устройств для нанесения тонких пленок на подложки из газовой фазы, а точнее устройств для получения зеркальных покрытий с высокой отражательной способностью и механической проч-. ностью. Цель изобретения - снижение расхода реагентов путем улучшения организации потока парогазовой смеси н о...