ПЕЛИХОВА ЭЛЛА ИВАНОВНА

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 30.11. 77 (21) 2548346/22-02 с присоединением заявки Но— Союз Советских Социалистических Республик

  ОП ИСАКИИ Союз Советскик Социапистическик Респубпик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6() Дополнительное к авт. саид-ву(51)М. Кл. С 23 F 1/00 С 23 G 1/!4 С 09 K 13/02 (22) Заявлено 7,09. 79(2! ) 2822905/22»02 с присоединением заявки Р(в— {23) Приоритет Геаударстввннмй квмнтет Опубликовано 30.05.81 Бюллетень М 20 Дата опубликования описания 30. 05 .8 1 по делам нзобретеннй н в...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик 954517 (61) Дополнительное к авт. саид-ву— 51 М Nn з (22) Заявлено 09.06. 80 (21) 2936618/22-02 С 23 F 1/02 С 09 К 13/02 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— Государственный комитет С.CC P по делам изобретений н открытий Опубликовано 300882. Бюллетень ¹ 32 Дата опубликов...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК „„SU„„1249071 (51)4 С 23 C 1/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3789931/22-02 (22) 05.07.84 (46) 07.08.86. Бюл. У 29 (72) Э. И. Велихова, И. Н. Аржанникова и А. В. Лонщаков (53) 621.7.025(088.8) (56) Попилов Л. Я. и Трактирова Т. В. Химические и элек...

  Изобретение относится к электронике и -радиотехнике для очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ-микрозлектронных устройств и фотошаблонов. С целью очистки полированных изделий раствор для обработки изделий включает, г/л; фтористоводородную кислоту 10-20; аммоний фтористый кислый 3-5; уксусную кисло...