ЛАРИОНОВ ЮРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  ОЛЙСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНЫЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 30.03.81 (2>) 3266952/25-28 t$1) М.Nfl с присоединением заявки 89 (23) Приоритет G 01 В 11/02 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий t Ö УДК 531. 715.. 27 (088. 8) Опубликовано 151,082. Бюллетень М38 Дата опубликов...

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ МИКРОРЕЛЬЕФА ПРЕИМУЩЕСТВЕННО В ТОНКИХ СЛОЯХ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛЩКАХ , заключающийся в том, что наносят слой металла на периодическзяо структуру на подложке, освещают ее «монохроматическим когерентным пучком света, регистрируют дифракционный спектр от структуры и опре селяют глубину микрорельефа, о тл в i а ю at и и с я тем, что, с цеЛЫ0 повьааения т...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Дпя этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из...

  Изобретение относится к двигателестроению и может быть использовано при доводке двигателей внутреннего сгорания (ДВС). Оно служит для повышения точности определения разности крутящих моментов двух сравниваемых ДВС. Для определения разности крутящих моментов сравниваемых ДВС они подвергаются одновременным испытаниям на тормозной установке, имеющей два раздельных ротора, соосно расп...