Слепцов В.В.

 Изобретение относится к установкам для нанесения покрытия в вакууме. В основу изобретения положена задача повысить качество технологического процесса напыления, при повышении экологических, эргономических показателей и дизайна установки. Эта задача решается тем, что вакуумная камера выполнена в виде куба с ребрами жесткости, число которых на каждой стенке вакуумной камеры не менее четырех...

 Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам напуска газа в вакуумную камеру. В основу изобретения положена задача обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потоком газа. Эта задача решается тем, что в качестве пористого материала используют материал с эффективными ад...

 Использование: изобретение относится к области технологической обработки полупроводниковых пластин в вакууме, а более конкретно к способам охлаждения полупроводниковых пластин в вакууме. Сущность: в качестве теплопроводящего вещества используют легкоплавкий металл галлий, который в жидком виде располагают в поддоне, без дополнительного крепления, а между пластинами и поддоном располагают...

 Изобретение относится к области контроля параметров пленочных покрытий в процессе их осаждения на подложку. Изобретение позволяет расширить диапазон анализируемых толщин слоев и обеспечивает возможность определения плотности растущего покрытия за счет выбора длины волны зондирующего излучения и угла падения излучения. Устройство состоит из установки для нанесения пленки, источника излучен...

 Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме. Сущностью изобретения является то, что теплопроводящее вещество - жидкое и расположено в поддоне, между подложкой и жидким теплопроводящим веществом расположена фторопластовая пленка толщиной 0,05-0,1 мм, механически закрепленная на подложкодержа...

 Задача повышения равномерности магнитного поля решается тем, что магнитная система выполнена в виде электромагнитов с замкнутым магнитным полем, каждый электромагнит содержит катушку индуктивности и сердечник, один конец которого связан с общим ярмом, а другой - с общим наконечником, число электромагнитов не менее трех и каждый из них имеет автономную систему питания. Устройство используе...

 В основу изобретения положена задача повысить индукцию в рабочем зазоре и тем самым повысить скорость распыления материала. Эта задача решается тем, что вакуумная камера выполнена из немагнитного материала в форме прямоугольного параллелепипеда, у которого боковые стенки выполнены из диэлектрического материала, высота параллелепипеда составляет половину от ширины магнитной системы, котора...

 Сущностью изобретения является катодный узел для получения тонких пленок в вакууме. При выполнении технологического процесса в вакууме происходит перемещение магнитной системы 2 по мере наращивания пленки на локальном участке посредством устройства перемещения 12. При этом ввиду предварительной регулировки зазоров в магнитной системе 2 с неподвижным ярмом 8 посредством перемещения сердечн...

 Сущностью изобретения является катодный узел, в котором элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, совмещенного с подложкой. Блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы, магнитная система выполнена с возможностью регулирования индукции магнитного поля от ну...

 Сущность изобретения является система охлаждения подложек в вакууме, содержащая подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество. В объеме теплопроводящего вещества размещена рубашка охлаждения. Охлаждение осуществляется путем подачи охлаждающего вещества от рубашки на подложку посредством теплопроводящего вещества. 2 ил. Изобретение относится к области технологической о...

 Сущностью изобретения является устройство катодного узла с системой питания для нанесения тонких пленок, в котором анод выполнен в виде концентрических колец, связанных между собой диэлектрическими перемычками, число колец не менее трех, причем кольца выполнены с возможностью подачи на них потенциалов различной величины от системы питания. Отношение диаметра проволоки к диаметру кольца со...

 Изобретение относится к водоугольному топливу (ВУТ) в виде суспензии, приготавливаемой смешиванием твердого пылевидного топлива, преимущественно низкокалорийного угля, с жидкостью - водой, для подачи в устройства его сжигания на теплоэлектростанциях, в металлургической промышленности, в котельные установки и другие теплогенерирующие системы, работающие на жидком топливе. Топливная суспенз...

 Изобретение предназначено для использования в стерилизации материалов и предметов с использованием ионизированного газа и ультрафиолетового излучения. Способ стерилизации объектов предусматривает помещение объектов в камеру и их обдув смесью воздуха с автомарным и молекулярным кислородом в возбужденном состоянии. Последний получают посредством ультрафиолетового облучения из образующегося...

 Изобретение относится к области изготовления оптических элементов, отражающих интерференционных фильтров и обработки поверхности стекла, а более конкретно к слоистым изделиям, включающим основу из стекла и многослойное покрытие из специфицированного материала, имеющее различный состав, из органического материала, оксидов, металлов и неметаллов, наносимых преимущественно осаждением из газо...