МЕТЕЛИЦА НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Ф. Н. Крылов, Н. Н. Метелица, Ю. К. Плавник " . и Я. И. Точицкий У ;.:- 1 (72} Авторы изобретения . (7l} Заявитель (54) ВИБРАЦИОННЫЙ КОНВЕЙЕР Изобретение относится к подъемнотранспортному машиностроению, а именно к вибрационным конвейерам, и может быть использовано в технологических линиях для перемещения по-. лупроводниковых пластин в высоком $ вакууме s презиционном обору...