ПЕНЦАК АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик о >851143 (61) Дополнительное к авт. св д-ву(22) Заявлено 030879 (21) 2807959/18-10 (53)м. Ки.З а 01 1, 21/30 с присоединением заявки М— Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий (23) ПриоритетОпубликовано 300781. Бюллетень М (53) УДК 531.787 (088.8) Дата опубликова...

  СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ОКИСНЫХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что измеряют ток вторично-электронной эмиссии, отличающийся тем, что, с целью обеспечения контроля в процессе изготовления пленки и упрощения способа, регистрируют ток экзоэлектронов , возникающих в процессе окисления материала подложки, и о Толщине пленки судят по величине общего заряда эмиттированных экзоэлектр...