ЗАЙЦЕВ АНАТОЛИЙ ГЕОРГИЕВИЧ

  « лвв,, Э. Г. Гасилов, A. Г.Зайцев, А. В. Кузнецов и. 63ГИйуюсйавов I (72) Автори изобретения 1 го ензенский филиал Всесоюзного научйр-исследовательско технологического института приборостроеныв.. (7l ) Заявятель (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности, а именно к установкам контроля и исследования полупроводников...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик 991559 (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 13.07. 81 (21) 3321б31/24-07 (51) M. Ku. с присоединением заявки М Н 02 М 3/335 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) ПриоритетОпубликовано 23,01.83, Бюллетень Йо 3 Дата опубликования описания 23.01.8...