Зондовая головка

Зондовая головка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

« лвв,, Э. Г. Гасилов, A. Г.Зайцев, А. В. Кузнецов и. 63ГИйуюсйавов

I (72) Автори изобретения

1 го ензенский филиал Всесоюзного научйр-исследовательско технологического института приборостроеныв.. (7l ) Заявятель (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности, а именно к установкам контроля и исследования полупроводниковых структур.

Известны эондовые головки, выпол" ненные в виде игольчатых зондов, раз": мещенных в держателях, соединенных с механизмом нагружения зондов (1).

Однако вследствие индивидуального

10 нагружения зондов, их контактные давления не идентичны, что в значительной степени влияет на достоверность результата измерений.

Известна также зондовая головка, содержащая корпус с закрепленными в нем изолированными друг от друга зондами, механизм нагружения зондов, выполненный в виде подпружиненного толкателя и пакета балочных опор 1 2 ).

Недостатком известного устройства является неплавное нагружение зондов, а также изменение упругих свойотв пружины нагружения в процессе эксплу2 атации, что ведет к нестабильности параметров головки и значительным погрешностям при измерении.

Цель изобретения - повышение точности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что в зондовой головке, преимущественно для контроля полупроводниковых структур, содержащей корпус, основание, в диэлектрических направляющих которого размещены зонды, механизм нагружения зондов с пакетом балочных опор и толкатели, механизм нагружения зондов снабжен парой постоянных магнитов, размещенных в корпусе один над другим одноименными полюсами навстречу, один другому и выполненных с возможностью взаимодействия через толкатель со сферической поверхностью с пакетом балочных опор.

На чертеже изображена принципиальная схема эондовой головки.

Зондовая головка состоит иэ корпуса 1 с крышкой 2, выполненной из

3 9 магнитомягкого материала, внутри которого размещен механизм нагружения зондов, включающий пару постоянных магнитов 3 и 4, расположенных навстречу один другому одноименными полюсами. Регулировочный винт 5 служит для ограничения перемещения магнита.3

Иагнит 4 через толкатель 6 опирается на центр начальной балки пакета балочных опор 7. На корпусе гайкой 8 закреплено основание 9 с диэлектри"

° ческими направляющими 10, s которых расположены зонды 11. Зонды 11 нерабочими концами попарно опираются на равноотстоящие от середины концы замыкающих балок пакета балочных опор 7

Устройство работает следующим образом.

При опускании зондовой головки на контролируемую полупроводниковую структуру 12, зонды 11, входя в соприкосновение со структурой 1 2, перемещаются в диэлектрических направляющих 10 основания 9 и воздейству" ют на толкатель 6 (через пакет балочных опор 7), представляющий собой цилиндрический стержень, который сферической поверхностью воздействует на магнит 4, сближая его с магни том 3. Вследствие того, что магниты 3 и 4 направлены друг к другу одноименными полюсами, силы взаимодействия их магнитных полей, стараясь сохранить первоначальное положение магнитов 3 и 4, создают давление на зонды 11, необходимое для надеж" ного контактирования их с полупроводниковой структурой 12.

Усилие давления зондов 11 на

Ю структуру 12 зависит от начального положения магнита 2 в осевом наорав" формула изобретения

Зондовая головка, преимущественно для контроля полупроводниковых структур, содержащая корпус, основание, .в диэлектрических направляющих которого размещены зонды, механизм нагружения зондов с пакетом балочных опор и толкатели, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения точности контроля, механизм нагружения зондов снабжен парой постоянных магнитов, размещенных в корпусе один над другим одноименными зв полюсами навстречу один другому и выпопненнных с возможностью взаимодействия через тоякатель со сферической поверхностью с пакетом балочных опор, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

11 514457 an. H 05 K 1/04. 1974

2. Авторское свидетельство СССР 504321, кл. Н 05 K 1/04, 1974 (прототип).

07885 4 лении, которое устанавливается регулировочным винтом 5.

Конструкция зондовой головки позволяет исключить необходимость ийдивидуальной подгонки зондов по давлению на .структуру, что значительно снижает себестоимость изготовления эондовой головки. Применение вместо пружинных элементов в устрой10 ствах нагружения постоянных магнитов, в. свою очередь, позволяет стабилизировать параметры зондовой головки, а значит и увеличить достоверность результатов контроля. !

Составитель Л.Прокопенко

Редактор Н.Данкулич, Техред T.Маточка Корректор М.Пожо

Тираж 856 Подписное

3 627/75 ираж

ВНИИПИ Государственного комитета СС по делам.изобретений и открытий

113035, Москва, М-35, Раушская наб., д, 4/5

4 филиал Пн Патен

ПнПП "П т" г Ужгород, ул. Проектная,