ГРАНКИН ВИКТОР МИХАЙЛОВИЧ

  " в Г «:ъ Т.Н.Мартынова, В.П. Корчков, В.М. Гранкин и Н.С.Гудкова 3,-, „Д; °;..; ... f Институт неорганической химии Сибирского 1 отделения АН СССР (72) Авторы изобретения (7!) Заявятель (54) ИСПАРИТЕЛЬ Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам дпя напыпения покрытий в вакууме, в частности к технологии нанесения вакуумных фото- и электро...

  Союз Советских Социалнсткческнк Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлено 19.08 ° 80 (21) 2977699/23-26 )51) М Кл З с присоединением заявки ¹â€” В 01 D 7/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет Опубликовано 300782. Бюллетень ¹ 28 (53) УДК 66.065. . 52 (088.8) Дата опублик...