ГУНИНА НИНА МАКСИМОВНА

  O ll H C A M H K (11)938338 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 30. 10. 78 (21) 2675175/18-25 с присоединением заявки J%— (23)Приоритет по и. 2 20.04.78 Опубликовано 23.06.82. Бюллетень М 23 Дата опубликования описания 23 .06 . 82 (5 l ) M. Кл. Н 01 L 21/26 Риударстеевый кеми...

  1. СПОСОБ ОБРАБОТКИ СТЕКЛЯННЫХ ПЛАСТИН преимущественно при изготовлении фотошаблонов, йключающий химико-механическую полировку пластин, промывку их в деионизованной воде и нанесение защитного покрытия , о т л им а ю щ и и с я тем, что, с целью увеличения срока нежопёрационного хранения пластин путем повышения качества обработки, нанесение защитного покрытия проводят, в водном рас...