Способ обработки стеклянных пластин

Способ обработки стеклянных пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. СПОСОБ ОБРАБОТКИ СТЕКЛЯННЫХ ПЛАСТИН преимущественно при изготовлении фотошаблонов, йключающий химико-механическую полировку пластин, промывку их в деионизованной воде и нанесение защитного покрытия , о т л им а ю щ и и с я тем, что, с целью увеличения срока нежопёрационного хранения пластин путем повышения качества обработки, нанесение защитного покрытия проводят, в водном растворе четвертичных аммониевых соединений вида R(CH3)2CH2C6H NC1, где R - углеводородный остаток. 2. Способ по п. t, о т л и ч а ю 1Д и и с я тем, что в качестве четвертичных аммониевых соединений используют либр ацкилбензилдиме тиламмонийхлорид синтетических жирных кислот фракции С- катамин (О алкилдиметилбензиламмонийхлорид в количестве О,02-0,03 мл на I л дистиллированной воды.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ:

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3430415/18-2.1 (22) 28.04.82 (46) 07.08.83 Бюл. М 29 (72) Н, И, Гунина, 3. А. Пимкина, И, И, Поярков и В, Д. Яковлев (53 ) 621 ° 382,002(088,6) (56 ) . 1. Пресс Ф. fl, Фотолитографиче ские методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, И., "Советское радио", 1978, с. 25.

2. Ермолов В, И., Жильцов А. В.

Изготовление .металлических фотошаблонов.- "Электронная промышленность", 1975,N 6, с. 46-47 (прототип). .(54 )(57 ) .1. СПОСОБ ОБРАБОТКИ СТЕКЛЯННЫХ ПЛАСТИН преимущественно при изготовлении фотошаблонов, включающий химико-механическую полировку пластин, промывку их в деионизован. SU„„1033466 A

Эш С 03 С 23/00; H 01 L 21/302.ной воде и нанесение защитного покрытия, о т л и ч à е шийся тем, что, с целью увеличения срока межоперационного хранения пластин путем повышения качества обработки, нанесение защитного покрытия проводят..в водном растворе .четвертичных аммони-. евых соединений вида

3)2 2 6 где R - углеводородный остаток.

2. Способ по и. 3, о т л и ч аю щ и " c я тем, чу.в качестве чет. вертичных аммониевых соединений используют либо алкилбензилдиметиламмонийхлорид синтетических .жирных кислот фракции С,либо катамин алкилдиметилбензиламмонийхлорид в количестве 0,02-0,03 мл на 1 л дис-.: тиллированной воды.

4 10

Изобретение относится к производву полупроводниковых приборов, в час. тности к изготовлению металлостеклянных фотошаблонов.

Основными параметрами, определяющими качество фотошабгонов, являются точность получения размеров элементов топологии и дефектность.

Эти два параметра зависят не только от технологического процесса изготовления металлостеклянного фотошаблона, но и от качества исходного материала.

Известен способ обработки стеклянных пластин, включающий шлифовку, полировку, отмывку, металлизацию и формирование фоторезистивного покрытия (1).

В качестве исходного материала заготовок для фотошаблонов используют известково-.силикатное листовое стекло, Большая дефектность поверхности стекла (царапины, сколы, дефекты изготовления и транспортирования, способность адсорбировать пары и газы с образованием поверхностного слоя ) обуславливает необходимость предварительной обработки (шлифовки, полировки ).

Операция полировки предназначена для удаления минимально нарушенного слоя,. т.е. именно она определяет, в конечном итоге качество поверхности пластин. После полировки пластины отмывают в травителях и в деионизованной воде, затем сушат, Между операциями полировки и отмывки нежелателен разрыв во времени, так как при длительном хранении отполированных и неотмытых пластин ухудшается качество их металлизации вследствие образования на их поверхности пленки, которую необходимо обязательно удалить, Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ, согласно которому стеклянные пластины предварительно обрабатывают для придания им определенной геометрической формы и размеров, а затем рабочую поверхность шлифуют полируют до получения минимальной шероховатости, После полировки стеклянные пластины .ppoHblBBIQT от полировальной суспензии и сушат, В данном способе, если плохо промыта поверхность пластин, то незначительное отклонение от режима llpO33 "66 3 цесса сушки приводит к появлению дефектов в виде "присушки абразива", что удаляется только при повторном процессе полировки, В случае отсутствия указанного брака пластины поступают на отмывку в различных травителях и в деионизованной воде, а затем на сушку в парах растворителя.

Перед металлизацией стеклянных плас10 тин требуется тщательная очистка их от органических и механических загрязнений.

Эти жесткие требования к операции отмывки предьявляются с целью получения бездефектных маскирующих пленок.

Кроме того, разрыв во времени между указанными операциями также недопустим, так как это ведет к браку.

После очистки ппастины защищают

2О от возможных загрязнений при кратковременном хранении-. (не более 2 ч ) специальной пленкой лака.

Нанесение эащйтного покрытия и удаление его перед следующей операцией

25 представляет собой дополнительные стадии в технологическом процес.се изготовления металлостеклянных фотошаблонов (2 J.

Недостатком известного способа является то,что он не обеспечивает получения стеклянных пластин-заготовок с длительным сроком хранения их между отдельными операциями вследствие того, что по истечении времени независимо от условий хра..

35 нения и изготовления идет процесс выщелачиванияя.

Цель изобретения — увеличение срока межоперационного хранения путем

4О повышения качества обработки

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу обработки стеклянных пластин, преимущественно при изготовлении фотошаблонов, включающем химико-механическую полировку пластин, промывку их в деионизованной воде и нанесение защитного покрытия, нанесение защитного покрытия проводят в водном растворе четвертичных аммониевых соединений вида

3 2 2 6 р углеводородный остаток.

При этом в качестве четвертичных аммониевых соединений используют либо алкилбензилдиметиламмонийхлорид синтетических жирных кислот фракции

С.1„либо катамин алкилдиметилбензиламмоний хлорид в количестве 0,020,03 мл на 1 л дистиллированной воды.

Отмывка, сушка в. парах изопропипового спирта.

Сразу после полировки, от- 3 мывки,сушки.матовый налет после 7-дневного срока хранения

16,3

Вытягивание из раствора с 70 образованием гидрофобной плен ки 7 сут

3

Пример, Способ. обработки стекпоппастин следующий.

После проведения операции полировки и промывки поверхности пластины от полировальной суспензии пластины обрабатывают в растворе; который сообщает им гидрофобные свойства. Обработку гидрофобным раствором на операции полировки проводят. в обязательном порядке вместо сушки в териошкафу и 1О транспортировки в ванне с деионизованной водой, Можно ввести обработку поверхности пластины гидрофобным раст вором.и после обработки в травителях, когда срок хранения пластин будет Составлять более I w, В качестве материала, исгюльзуемага как гидрофабная защитная пленка, применяют водный раствор одного из препаратов алкилбензилдиметиламманийхлормд (@БДИ-хлорйд) или алкилдиметил. бензиламионийхлорид (катамин АБ) следующего состава: АБДИ или катаминАБ—

0,83,ил íà l л деинизованной или дис-. 25 тиллировайной водй. Препараты АБДИ и катамин АБ ("РОС-79" ) представляют собой четвертичные аммониевые соединения общей формулы

К(Сиз) СН2С Н ИС1 зО где К - углеводородный остаток.

Обезвоживающий раствор любого из назваснных препаратов готовят следующим: образам.

0,02-.0,03 мм добавляют на 1 л деи- З онивованной или дистиллированной ) во ды при 20-25 С. При концентрации

0,04 мл для АБДМ-хлорид и 0,05 мл для бб 4 катамина АБ и выше наблюдается резкое увеличение толщины гидрофобного слоя (поверхност ь ст вновится масляни стой ), что способствует загрязнению поверхности ° При концентрации меньше .

0,02 мл/л воды не происходит образования сплошной гидрофобной пленки.

Обработку стеклянных пластин проводят на установке вытягивания при

20-25 С, скорость движения пластин из раствора не более 5 см/мин. Указанная скорость обеспечивает сплошность и сохранность обволакивающей гидрофобной пленки на стеклянных пластинах. При формировании гидрофобной пленки не поверхности пластины происходит образование адсорбционных слоев, состоящих из асимметричных полярных молекул. При адсарбции образуется защитный гю отношению к внешнему воздействию слой, обусловленный изменением гидрафильно-гидрофобных свойств поверхности, Изменение свойств поверхности с гидрофабной пленкой рценивают после операции отмывки по углу смачивания.

В таблице приведены результаты за. мерав угла смачивания.

Обработка стеклянных -пластин данным способом, а именно формированием гидрофабной пленки на поверхности стеклянных пластин вместо сушки в . термошкафу или транспортировки их в ванне с деионизованной водой, значительно расширяет срок межоперационного хранения, сохраняя при этом полученное качество полировки поверхности.

1033466

Продолжение таблицы

5 6

1 мес

То же

2 стекла имеют

2 мес

70 царапины!

Составитель 9, 11илославская

Техред T,фанта .Корректор А.Тяско

Реда ктор Н, Гунь ко

Заказ 5548/23 Тираж 486: Подписное

ВНИИПИ Государственнного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб,.д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,. 4

3 стекла имеют царапины