Ястребова Н.В.

 Способ изготовления миры, заключающийся в том, что на пластину из материала, имеющего свойство анизотропного травления с окисным покрытием, наносят слой фоторезиста, экспонируют фотошаблон с изображением отверстий совмещения и протравливают их в фоторезисте, отличающийся тем, что, с целью получения высокоразрешающих мир, на одну сторону пластины наносят и сушат защитный лак, протравливают...