Способ изготовления миры

Способ изготовления миры

Реферат

Способ изготовления миры, заключающийся в том, что на пластину из материала, имеющего свойство анизотропного травления с окисным покрытием, наносят слой фоторезиста, экспонируют фотошаблон с изображением отверстий совмещения и протравливают их в фоторезисте, отличающийся тем, что, с целью получения высокоразрешающих мир, на одну сторону пластины наносят и сушат защитный лак, протравливают сквозные отверстия совмещения в пластине, удаляют лак, на другую сторону пластины наносят фоторезист и проводят процесс фотолитографии с получением изображения площади миры, наносят защитный лак на первую сторону пластины, протравливают площадь миры до остаточной толщины пластины 1,5 - 5 мкм, удаляют лак, затем наносят фоторезист на одну из сторон, на другую - защитный лак, проводят процесс фотолитографии с получением изображения структуры миры, в соответствии с которым протравливают сквозные окна в пластине.