КРЫСОВ ГЕОРГИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик рц1004232 (61) Дополнительное к авт. свид-ву 151) М. Кл.з (22) Заявлено 24. 02.81 (21) 3253659/18-25 сприсоединением заявки ¹ (23) Приоритет Н 01 4 21/00 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий Опубликовано 280283. Бюллетень ¹ 8 Дата опубликования описания 28. 02...

  Изобретение относится к электронной технике и обеспечивает расширение функциональных возможностей устройства за счет увеличения диапазона давлений в реакцитонной камере и продолжительности процесса. Устройство содержит прозрачную реакционную камеру для обрабатываемой пластины. Снаружи камеры в герметичном корпусе, заполненном прозрачным хладагентом, размещены галогенные лампы и тр...