БАЗИН ВИКТОР МИХАЙЛОВИЧ

  Союз Советсннк Социалнстнческнк республик (и)! 003210 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 19.11.81 (21) 3353811/24-07 с присоединением заявки М (23) Приоритет Опубликовано 07. 03. 83. Бюллетень М 9 (5l)M. Кл. Н 0»0/48 Гааударстакай кемвтат СССР аа аалам кзебрвтекя я еткрмтнй (53) УДК 621 ° 355. .1 (088.8) Дата опубликования описания 09...

  Изобретение относится к технике электроизмерений. Цель изобретения - повышение точности при измерении электрофизических параметров полупроводниковых материалов в виде субмикронных легированных слоев на высокоомных подложках. Устройство содержит цилиндрический резонатор 1 с торцевой стенкой 5, имеющей осевое отверстие 4 конусообразной формы, а также эл-ты 2 и 3 связи с источником С...