МИТТЕНБЕРГ ЕЛЕНА ГЕОРГИЕВНА

  1. КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН, преимущесгвенно полупроводниковых , содержащая основание в вице диска с отверстием в центре, на котором размешень по концентрическим окружностям два ряда точечнБК фикс зторов в виде стержней, отличаю ш a я с я тем, что, с аелью повышени${ качества травления, она снабжена цопол нительными основаниями и крышкой в . виде диска, при этом основное и д...

  Способ относится к области контроля кремниевых структур, выращенных на подложках , имеющих отклонение от плоскостности . Сущность изобретения: на поверхность эпитаксиальной структуры наносят маскирующее покрытие. Вскрывают в нем окна прямоугольной формы, одна из сторон которых перпендикулярна базовому срезу, причем другая сторона имеет длину, превышающую значение W/tg «, где W -...