Кассета для травления пластин

Кассета для травления пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН, преимущесгвенно полупроводниковых , содержащая основание в вице диска с отверстием в центре, на котором размешень по концентрическим окружностям два ряда точечнБК фикс зторов в виде стержней, отличаю ш a я с я тем, что, с аелью повышени${ качества травления, она снабжена цопол нительными основаниями и крышкой в . виде диска, при этом основное и дополнитепьные сюнования и крышка установлены друг под другом на одинаковом расстоянии и соединены между собой стераснями точечных фиксаторов, причем стержни одного из рядов выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда для пластины.1 2. Кассета по п. 1, о т л и ч a ющ a я с я тем, что съемные штыря точечных (фиксаторов соединены между собой попарно перемъгчкой, размешенной над крышкой.

„„SU„„1014071

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК Н 01 21/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

" ".1 t с. -%35

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

1 (2l:) 2826642/18 21 (22) 08.10.79 (46) 23.04.83. Бкл. № 15 (72) Е. Г. Миттенберг, В. Ю. Янсон, S. В. Стерпиков и В. Г. Иванов (53) 621.328(988.8) (56) l. Stol ler А.J., Speers R.F., 0presko S "А пби techigue for etch

thinning Silicon wafers", "RCA Rew", 1970, 31, № 2, 265 - 270.

2. Авторское свидетельство СССР № 443433, кл. Н 014 23;/00, 09. 12.71. (54)(57) 1. КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕ

НИЯ ПЛАСТИН, преимущественно полу проводниковых, содержашая основание в виде диска с отверстием в центре, на котором размешены по кондентрическим"окружностям два ряда точечных фикса-, торов в виде стержней, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью повышения качес гва травления, она снабжена допож нительными основаниями и крышкой в, виде диска, при этом основное и до- полнительные основания и крышка уста новлены друг под другом на одинаковом расстоянии и соединены между собой стеркнями точечных фиксаторов, причем стеркни одного из рядов выполнены сьемными и установлены попарно отно-. сительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда для пластины.

1.

2. Кассета по п. 1, о т л и ч а ю - ш а я с я тем, что сьемные штыри точечных фиксаторов соединены. между собой попарно перемычкой, размешенной над крышкой.

1014071

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в технологии произвоцства полу провоцниковых пластин.

Известно устройство цля травления пластин, в котором пластина укрепляет ся на цне тефлоновой лодочки, плаваю шей в сосуце с травителем. Перемешивание травителя осуществляется инерт»ным газом, подаваемым в сосуц через мелкие отверстия Р 1)

Устройство не пригодно в условиях массового произвоцства.

Наиболее близкой по технической сущности к изобретению является кассета цля травления пластин, содержащая основание в виде писка с отверсти» ем в центре, на котором размещены по концентрическим окружностям цва ряда точечных фиксаторов в виде стержней(2)

B кассете пластины устанавливают между стержнями вертикально, и возможно их соприкосновение межцу собой, что цвет плохое качество травления пластин.

Цель изобретения - повышение качества травления.

Поставленная. цель достигается тем, что кассета цля травления пластин, преимущественно полупровоцниковых, соцержашая основание в виде диска с отверстием в центре, на котором размещены по концентрическим окружностям цва ряца точечных фиксаторов в вице стбркней, она снабжена дополнительными основаниями и крышкой в вице диска, при этом основное и дополнительные основания и крышка установлены друг поц другом на одинаковом расстоянии и соецинены межцу собой стержнями точечных фиксаторов, Э причем стержни оцного из ряцов выпол« иены съемными-и установлены попарно относительно двух стержней цругого ряца с возможностью образования гнезца цля пластины, Кроме того, съемные штыри точечных фиксаторов соединены межцу собой попарно перемычкой, размещенной нац крышкой.

На фиг. 1 показана часть кассеты, виц сбоку; на фиг. 2 - то же, виц сверху.

Кассета состоит из жестко соецинен ных межцу собой дисков 1. выполненных из винипласта 6 230 «+ 30 мм с отвер- стием в центре 6 110 «+ 30мм. Диски, верхний из которых является крышкой, Кассета закрепляется на валу электродвигателя и совершает возвратно-поступательное цвижение в ванне с травителем.

При этом пластины нахоцятся во взвешенном состоянии, каждая пластина размещается между четырьмя стержнями и двумя основаниями и равномерно омывается травителем со всех сторон.

Диаметр отверстия в центре кажцого диска опрецелен экспериментально и равен 1,5 циаметра пластин.

Расстояние межцу дисками также . определено экспериментально и равно 0,245 0,25 диаметра пластины.

Кассета может быть выполнена из винипласта, фторопласта и других химически стойких материалов.

Кассета позволяет получать пластины

5O с pBs6pocoM IIo толщине 10-15 MKM (т.е. не превышающим первоначальный).

Кассета может быть использована не . только цля травления полупроводниковых пластин, но также и при провецении процессов проявления фоторезиста, травления окисного слоя, слоя металлизации и других фотолитографических процессов. расположены параллельно и на одинаковом расстоянии цруг от друга, равном 10 +

2 мм. Количество дисков может меняться от 2 go 6 в зависимости от емкости кассеты, и они соецинены между собой стержнями 2 - 5. Каждая пластина, помещенная .между цвумя писками (рабочей стороной вверх) фиксируется с помощью четырех стержней, размещенных по двуМ концентрическим окружностям. При этом стержни одного ряца выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого ряда с возможно» стью образования гнезда цля пластины.

Съемные штыри соединены между собой попарно перемычкой 6, размещенной нац крышкой. На кажцом диске может быть установлено цо 12 пластин 6 40 мм.

На крышке установлена ручка 7, имеющая вертикальный шток 8, который может быть соединен с валом электродвигателя (не показан).

Кассета работает слецующим образом.

При подготовке кассеты к работе стержни 2 и 3 вынимаются, и в каждую ячейку, образованную четырьмя стержнями - помещается пластина рабочей стороной вверх и фиксируется съемными

ore ржнями.

1014071

Составитель Л. Гришкова

Редактор В.,Панко Техред Т.Маточка Корректор В. Бутяга

Заказ 3031/64 Тираж 701 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий .113035; Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4