РЕЗНИЧЕНКО АНАТОЛИЙ ЯКОВЛЕВИЧ

  СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ПРОДЕССОМ КОНДЕНСАЦИИ ХЛОРИДОВКРЕМНИЯ, заключающийся в ступенчатом низкотемйературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода зсладагента ,. в конденсаторе в зависимости состава парогазовой смеси на ЕСХоде конденсатора и давления парогазовой смеси на шлходе из него, о т л и ч аю щ и и с я тем, что, с целью поиашения извлечения трихлорсилана в конден...