КУБРИН ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

  СПООЗВ ОВРАВОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ путем напыления нитрила на поверхность магнятной ГОЛОВКИ, о т ля ч а ю щ н и С я тем, что, с аепьп повшения тер мическс стойкости магнитной головки , перед нап1за1ен1 уЯ) 11 Â 5 42 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ GCOP flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbffHA ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3395921/18 10 (22) 12.02.82 (4...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при плазменной обработке полупроводниковых и диэлектрических подложек (П). Цель изобретения - повышение выхода годных изделий путем снижения температуры П при обработке. Для этого формирование прогиба охлаждаемого подложкодержателя осуществляют после размещения и закрепления на нем П в процессе бомбардировки их пот...