КОСТРОВА ОЛЬГА СТАНИСЛАВОВНА

  СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОЗИТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ, основанныйна определении величины, характеризующей время отслаивания в проявителе, и оценке по ее значению качества фоторезиста, нанесенного на подложки. .отличающийся тем, что, с целью расширения области применения , одну из подложек с нанесенным фоторезистом облучают ультрафиолетовым излучением с интенсивностью, превышающей опти...