УСМАНОВ РУСТАМ АБДУЛЛАХОВИЧ

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОТВЕРСТИЙ В ПОЛИИМИДНОЙ ПЛЕНКЕ, включающий .нанесение на поверхность пленки ..маскирующего слоя, формирование в нем рисунка методом фотолитографии и травление полию4идной пленки в кислородсодержащей плазме, отличающийся тем, что, с целью повьшения воспроизводимости процесса , перед нанесением маскирующего слоя и перед травлением полиимидной пленки проводят имидиз...