РОЗЫЕВ НУРГЕЛЬДЫ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ПОДЛОЖКИ, содержащее SU... 1035844 A 3C5D Н 05 К 3/00/ В 01 L 21/00/ 5/00 .. :f. - А/В. у центрифугу .со столиком для размещения подложки в сьемшай экран, расположённый на упорах над столиком центрифуги с образованием зазора, от л и ч а и щ е е с я тем, что, с целью повышения качества изделий, в центре экрана выполнено окно, конфигурация KO...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК 09) (11) А зсмк н OI L г1/312/! а 03 с 1/74 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA 1 ! ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 :,! -." .":: Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ ьФ O (21) 3398789/18-2I (22) 18.02,82 (46) 07.10.83, Бюл. N 37 (72) Н.К,Былкина, А.И.Морозов и Нургельды Роэыев (53) 62I.382,002(088.8) (56) 1. Патент ФРГ N 2...

  Изобретение позволяет упростить кон струкцию и уменьшить габариты объемной машины. В корпусе 1 с каналами 2, 3 впуска и выпуска рабочей среды размещен с образованием рабочих камер 9, 10 поршень 6 со штоком 8 Механизм привода поршня 6 кинематически связан с валом 15 Поршень выполнен в виде прямоугольной пластины с центральным отверстием 7, в к - ром размещен шток 8 жестко закрепле...