Юрков А.Н.
Изобретатель Юрков А.Н. является автором следующих патентов:
Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов
1. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов, содержащий катод, магнитную систему с полюсными наконечниками и мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в мишени выполнена канавка, расположенная между полюсными наконечниками магнитной системы.2. Источник по п.1, отличающийся тем, что канавка расположена на поверхности мишени, прилегающей к магнитной си...
1036075