Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов
Патент 1036075
Авторы
Классы МПК
Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов
Реферат
1. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов, содержащий катод, магнитную систему с полюсными наконечниками и мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в мишени выполнена канавка, расположенная между полюсными наконечниками магнитной системы.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что канавка расположена на поверхности мишени, прилегающей к магнитной системе.