ШВАНГИРАДЗЕ РЕВАЗ РАЖДЕНОВИЧ

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КБРАМИ-ЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ НА ОСНОВЕ ОКСИДА . ИНДИЯ, включающий термообработку исходного материала при 1200°С, помол, формование и спекание изделий , отличающийся тем, что, с целью повышения электропроводности изделий, перед термообработкой исходный материал брикетируют, а термообработку осуществляют путем нагрева до 1600с, . причем в интервале 1200-1600с чере...

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полупроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряющихся материалов. Цель изобретения - повышение качества пленок и соответствия их состава исходному материалу. В вакуумной камере размещен испаритель. На его боковой поверхности выполнено окно. В испарителе размещен тигель. Тигель...