Устройство для получения пленок многокомпонентных сплавов

Устройство для получения пленок многокомпонентных сплавов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полупроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряющихся материалов. Цель изобретения - повышение качества пленок и соответствия их состава исходному материалу. В вакуумной камере размещен испаритель. На его боковой поверхности выполнено окно. В испарителе размещен тигель. Тигель соединен с механизмом его вертикального перемещения. Над испарителем расположена подложка, напротив окна средство периодической подачи исходного материала в тигель. Механизм перемещения тигля и средство периодической подачи исходного материала синхронно связаны. Над тиглем в испарителе установлен сепаратор. Получены пленки соединений BI-SB-TE толщиной до 10 мкм , состав которых соответствует исходному материалу. 1 з.п.ф-лы, 1 ил., 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (9! S U (11) (50 4 С 30 В 23/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4212526/23-26 (22) 20.03.87 (46) 23.04.89. Бюл. И 15 (72) Б.Б.Анисимов, Ю.А.Мальцев, Ш.З.Джамагидзе и P.P.Øâàíãèðàäçå (53) 621.315.592 (088.8) (56) Дашевский З.И. и др. — Электронная техника. Сер. 7, 1978, вып. I(86), с. 11-13. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК

МНОГОКОИПОНЕНТНЫХ СПЛАВОВ (57) Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полулроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряюшихся материалов. Цель изобретения — повышение

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полупроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряющихся материалов.

Цель изобретения — повышение качества пленок и соответствия их состава исходному материалу.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройства включает в себя вакуум ную камеру 1, внутри которой расположен графитовый испаритель 2 в ви- де стакана с окном 3 на боковой его поверхности. Внутри испарителя 2 установлен графитовый тигель 4 на штоке 5, шарнирно связанном со средством перемещения тигля 4. Средсткачества пленок и соответствия их состава исходному материалу. В вакуумной камере размещен испаритель.

На его боковой поверхности выполнено окно. В испарителе размещен тигель. Тигель соединен с механизмом его вертикального перемещения. Над испарителем размещена подложка, напротив окна - средство периодической подачи исходного материала в тигель.

Механизм перемещения тигля и средство периодической подачи исходного материала синхронно связаны. Над тиглем в испарителе установлен сепаратор. Получены пленки соединений

Bi-Sb-Òå толщиной до 10 мкм, состав которых соответствует исходному материалу. 1 s.ï. ф-лы, 1 ил. 1 табл.

2 во перемещения тигля 4 выполнено в виде рычага 6, закрепленного на оси

7, и электромагнита 8 ° Напротив окна

3 расположено средство 9 для периодической подачи исходного материала, которое синхронно связано со средством перемещения тигля 4. В верхней части испарителя 2 над тиглем 4 установлен сепаратор 10. Над испарителем

2 размещена подложка 11. Сепаратор

10 исключает попадание на подложку

11 недоиспарившихся частиц.

Устройство работает следующим образом.

Порошок исходного материала заданного состава периодически (через

1-3 с) засыпают через окно 3 в горячий тигель 4 для периодической за1474185

Содержание компонентов, ат. %, с точностью -2 отн. %.

Концентрация носителей тока

P 10

CM-3

Подвижность

Вид образца

Устройстцо носителей р, см2 /В с

Sb Te

190

10,1 29,6 60,4 2,5

9,3 30,8 61,5 1,7

Пленка Предлагаемое

Пленка Известное

Исходный объемный об9,9 29,7 60,2

10* 30" 60*

2,4

290 разец ф Расчетное содержание компонентов в исходном сплаве заданного состава Bi „ ЯЪ„ Те сыпки. При этом включают электромагнит 8, который притягивает одно из плеч рычага 6 и поворачивает его вокруг оси 7, а второе плечо рычага

6 опускает шток 5 с тиглем 4 и открывает окно 3. После засыпки электромагнит 8 отключают, и рычаг 6,, возвращаясь в первоначальное положение возвратной пружиной, поднимает тигель 4 и перекрывает окно 3 на период полного испарения исходного материала. Затем весь цикл повторяется.

Получают пленки соединений Bi-SbTe со скоростью осаждения 0,5 мкм/

/мин и толщиной до 10 мкм, состав которых соответствует исходному материалу.

Концентрация компонентов и некоторые электрические параметры в плен" ках и исходном объемном образце состава 25% В Те + 75%. Sb Te> приведены в таблице. 25

Формула изобретения

1. Устройство для получения пленок многокомпонентных сплавов, включающее вакуумную камеру, размещенный в ней испаритель с окном на его боковой поверхности, средство для периодической подачи исходного материала через это окно и подложку, закрепленную над испарителем, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества пленок и соответствия их состава исходному материалу, устройство снабжено тиглем, установленным внутри испарителя и имеющим средство его вертикального перемещения, и сепаратором, размещенным над тиглем.

2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что средство для периодической подачи исходного материала синхронно связано со средством вертикального перемещения тигля.

1474185

Редактор Н.Яцола

Заказ 1842/24

Тираж 355

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101

Составитель H.Давыдова

Техред А.Кравчук Корректор А. Обручар