НЕСТЕРОВА ЛЮДМИЛА АЛЕКСАНДРОВНА

  УСТРОЙСТВО .ОЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ, содержащее корпус реактора, нагреватель и системы подачи паров металло.органического соединения к отвода газообразны ; продуктов их разложения, отличающееся тем, что, с целью повышения коэффиц;1ента полезного действия путемснижения расхода металлоорганического соединения, оно снабжено распределителем подач инертного га...