Устройство для нанесения покрытий из паровой (газовой) фазы

Устройство для нанесения покрытий из паровой (газовой) фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО .ОЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ, содержащее корпус реактора, нагреватель и системы подачи паров металло.органического соединения к отвода газообразны ; продуктов их разложения, отличающееся тем, что, с целью повышения коэффиц;1ента полезного действия путемснижения расхода металлоорганического соединения, оно снабжено распределителем подач инертного газа и стаканом для установки обрабатываемой детали , соединенным с cиcтeмa i i подачи паров металлоорга}1ического соединения и отвода газообразных продукTOf из разложения, при этом распределитель выполнен Б виде кольцевого трубопровода с отверстиями, установленного коаксиально корпусу реактора С S ниже сменного стакана.

СОЮЗ СОНЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН ((9l @ (ill

ЗЫ С 23 С 11/02 газообразных продуктов их разложения, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с целью повышения коэффициента полезного действия пу-.ем снижения расхода ленного коаксиальн ниже сменнОГО стак о корпусу реактора 2 ана. Я

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3423768/22-02 (22) 16.04.82 (46) 15.05.84. Бюл. 1" 18 (72) Е.A. Ляндаев, Г|,11. Софронов и Л.А. Нестерова (53) 621.793.06(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

N 522281, кл. С 23 С 11/02, 1974.

2. Авторское свидстельство СССР

|| 673666, кл. С 23 С 11/02, 1976. (54) (57) УСТР011СТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРь!Т»Л ИЗ ПАРОБО|1 (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ, содержа(ее корпус реактора, нагре.ватель и системы подачи паров металло.органического соединения и отвода металлоорганическсго соединения, оно снабжено рас:pe;.åëитслем подачи инертногo газа и сменив(м стаканом для установки Об11аб".òû»!ëoìo»» де тали, соединенным с с »стемами подаЧИ Пс POB МЕТаЛ IOO,11 (1НИЧССКОГ О CОЕДИ нения и отво „а газообразных продуктов из разложения, пр 1 зтом распределитель выполнен и виде кольцевого трубопровода с отверстиям », устгновц

1

|

1 !

:IC ((< !: :,tl I;i".I f

1! . (:;11! (1. ° ,:;-(Г(<(, ге .:и; Я3-tl,:(< (),1, t, И<)в

: i : i < Т (3 " (<1- (1 1- .

1) 3 C) (P Е Т C! "l t (3< . 11::) Г =l Т С Л 5:1 <- « ° ..

ПОКРЫТИЙ,, Л (ЯСт О.-тп К VC!:,)(- Т И

3..fIn hI3! ЕСЕНИЛ П,f

Г Я;1 И .-; Е Е }< И Х Е Г) Е и 1 I . 1 Е t i, (t -,, !

13-БЕC I HC) lC ГIИО!!.:ТБО . J!5

И И Л I t О К .) i-i T И:; ".: 3: .

H1.iH, СОС ." ЛГJ.Ã Ð и - ()ПП -.

Н .. DI3Б<)ТC ПЛ <<Е )()1!i (1-, !it); (t<)t !1, 1 1 (.! T »,Ct, I С) П ."I I; l И (Г. (1 О -" Г; * (° ) ". j отно,,,я с;3ообря3:iht.: про..t 1- т:л -.х и<;Е )Ог(П)1,!ò)f (ПП-., — . -,. 1Лг;11 ьг, г(< ( т» ря.,<.П(5, )(РИ -()-,-, -1.3 -i- 1 i) -.! —.i -,— -;,;, ° 1

ИЕС К ОГ<3 СО t(f1 If<: ИЛ .- . : О 1!

Л(ОО)1ЕХО„3Ит I.(Õ fp:- 3 -1 О)КC il,, 3 ЛС

Н<ег ".::Г ЕРХИО(j (. и ll! . "- )И..(3(< г) Е 51 I I t 1 «! О I)

i 1;= г .-(1 г; -1 Р и )†- - i, (-,,:-) -, 1 Р Е и д" тз. и. I;.u(;i ..". . Ое;; .,1<-! по

ИО !)э) ), -1Л,. (1,!.О!< .i I О. t . . < . !),1?:; Г ()

ПОКРЬ!ТИ! . i(c! T3 !.:

ТPCC)5.ЯТ l i Г""О" "- -;:(Л . Л - - ("т, 1 и 1- .

НИ.Л fl 3 ()Ы Гl(:!, -13 ( фЯ 3 Ы.; С 1! p; i "1= С 111р:.<няп":çÿòñ lith .-: ". 1c." т- f;-t и;),-" " . я

1<1 Я(1(ОО1 < - И !Ег К<11 О (О- гп(<" 1 .5

ОТВОДЯ Г(13 Ооб|)3 3 HhlX (;)Р;,<. Г" <3(! ° . ": О .!(О)((ЕНИЯ . it, 1. РЕ !1 ЛЙ 1(1() 1 - -,i (! P - -t

Ф ре Лис ти p., "ьи!1 р»- и(-и:(-:-.:-,ь ьи: —,, -. Б .. с<и. "=:

ПОБЕПХИС)Ь и,- . (11!.1К:,...Яг..! ()3 -.. "i15 ..;

flC)t" 3 У(".;1t. -! --; - (" -: .: -;. - -." -, " 1 .i !:Л 1:11

5! Е Т i It !h, l 1 1 ;! Т t . P Я t! :I:li h 3 .; Е 1) Ьh! II(if Ci

1 < 1 ;.....;;.:;; ° f" (И()г)Р 111(1 !:; -1))(Р (i . (5;.1()Я К С

lit Г . П. Il(i: :ll:!: it i.i !i

1)!)1(1 —. О :",; Ii»IЮ

) <1 !. !<=. Я() ". lit О. I Ь !

<О !! ))Я Л; .И((Я!л —.....;. т -;;,1()1;, Я -)< Яит;РЛ г(1 1 -i 1- f (J P

I:)1 1" it i

1(<

1092208

4 чем давление паров металлаорганкческого соединения. Контроль осуществляют па показанию манометров (не наказаны). После окончания процесса прекращают подачу паров металлоорга»»»»ческого саед»»кения, перекрывают подачу инертного газа и при достижсник в реакторе комнатной температуры систему прйводят к нормальному давлению, снимают фланец 5 и, звлекают из реактора 1 деталь !7.

Введение в реактор 1 промежуточного сме.нного стакана 3 и системы подa:»è инертного газа в полость между стаканам 3 и корпусом реактора

1 при давлениях, превышающих давление пара металлаорганических соединений во внутреннем объеме стакана

3, позволяет устранить распад паров металлаорганкческих соединений на

L степках реактора 1 и на внешней псвсрх»»асти покрываемой детали 17.

Исключение распада паров металлоорга»п»ческкх соединений на стенке реактора 1 и на в. ешней поверхности дата »и 17 в 2-3 раза снижает расход мет»лаарганкческаго соединения при получении пакрь»тия на внутренней поверх»»аcт»» детали. Кроме того, исключ н»»е побочного распада паров металлоарга»»»»ческих саед»»»»ени»» пр»»водит к снижению концентрации продуктов распада в зоне реакции, которые, нака»;лкваясь, загрязняют образующиеся покрытия в процессе его формирования °

Б результате улучшается качество покрыт»»я.

3, систему подачи паров металлаарганических соединений, состоящую иэ испарителя (не показан), трубопровода 4, жестко соединенного с верхним фланцем 5, конусообразной распределительной воронки б, которая в верхней узкой части имеет небольшой патрубак 7, а нижняя часть снабжена направляющей 8, закрепленной на сменном стакане 3 при помощи разъемного 1и соединения. Сменный стакан 3, выполненный в виде цилиндра, имеет в нижней части коническую воронку 9,. жестко соединенную с трубопроводом 10 системы отвода продуктов реакции 15 (не показана).

Вывод трубопровода 10 наружу через корпус реактора 1 осуществляется ! через уплотнительное устройства 11, обеспечивающее герметизацию установки.

Система подачи инертного газа состоит кз баллона 12, подогревателя 13, направляющего патрубка 14 и распределителя 15 подачи инертного газа, который представляет собой тор с отверстиями 1б для выхода газа в объем реактора 1. В сменном стакане 3, который меняется в зависимости от размеров детали, размещается обрабатываемая деталь 17.

Устройство работает следующим образом.

В реакторе 1 устанавливают необходимого размера сменный стакан 3, 35 в который помещают обрабатываемую деталь 17 и закрывают распределитель" ной воронкой 6. Реактор 1 закрывают верхним фланцем 5 и через трубопровод 10 вакуумируют (вакуумный насос не показан). Деталь 17 нагревают, после чего в реактор 1 подают подогретый кнертный газ. Из испарителя (не показан) подают по трубопроводу 4 парь» металлоарганическаго соединения. В процессе получения покрытия давление инертного газа в реакторе 1 поддерживают несколько .выше, формирование газового потока паров метал.»аорганкческкх соединений только в эа»»е реакции повышает в 2-3 раза

КПД установки.

Кроме того„ стакан, который в зависимости от размеров детали меняется, дает возможность испольэовать один и тат же реактор для нанесения покрытий на внутреннюю паверхность разлкч»»ь»х деталей, расширяет размерный диапазон покрываем»»х деталей. г:

/ (/

/ (!

> (1 1 (1, 1

Ч 1, ! ! .,:;. 1 ; .,/.,/-

),.;

tl il . / 3 ! !

1/, ; ,1

/ l р

) . t

I ) р,, Я р -, !: М1 р=-, l //, 1/

/,1 Л

)/ ъ

/,; 1" 1

1 1 I

/! li

1/

i /„

М, :,",й

Г

11 !1