БИРКЕН БОРИС АВГУСТОВИЧ

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕРМОРЕЗИСТОРОВ, включающий нанесение на непроводящую подложку пленки из термочувствительного материала на оксидов металлов высокочастотным магнетронньм распылением и пленочных контактных электродов , отличаю щийс-я тем, что, с целью улучшения воспроизводимости электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления и повьппения...