ЖУРКИН ЕВГЕНИЙ СЕРГЕЕВИЧ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ, содержащее экранирующую маску, расположенную в вакуумной камере между ионным источником и держателем оптической детали , установленным с возможностью вращения и кинематически соединенным с первым вращающим узлом, подсоединенным к первому выходу формирователя управляющих сигналов, второй выход которого подключен к второму вращающему узлу...

  Изобретение относится к области технологии оптических деталей, а именно к способам ионно-лучевой обработки деталей, изготовленных из диэлектрических материалов, и может быть использовано в оптике и оптоэлектронике. С целью повышения скорости процесса травления поверхности изделий из диэлектрических материалов ведут путем воздействия сколлимированным пучком ионов, в который введен...