БЕНДЕР ЕФИМ ДАВИДОВИЧ

  СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус-анод, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин, установленных перпен-. дикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от, испарителя-катода и имеющих отриц...

  Сущность изобретения: сорбционный насос содержит корпус-анод (КА) 1, электродуговой геттерный испаритель-катод (ПК) 4 (в виде параллельных стержней) и токоподвод 5. на который подается напряжение дугового разряда от источника питания 11. На конце стержней ПК 4 находятся поджигающие устройства 8, на которые подаются поджигающие импульсы от источника 10. Вблизи токоподвода на каждо...

  Использование: нанесение металлических покрытий и тонких пленок и может найти применение в электронной промышленности . Сущность изобретения: увеличение срока службы и надежности работы испарителя - достигается тем, что поджигающий электрод электродугового испарителя выполнен из ферромагнитного материала, а зазор между поджигающим электродом и катодом по поверхности изолятора вып...