Сорбционный вакуумный насос

Сорбционный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус-анод, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин, установленных перпен-. дикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от, испарителя-катода и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего. О) О)

СОЮЗ. СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

П9) (11l

1 1

4(1) F 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ л

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3637185/25-06 (22) 18.08.83 (46) 07.06,85. Бюл. Р 21 (72) А.И. Аренштам и Е.Д. Бендер (71) Институт теплофизики Сибирского отделения АН СССР и Новосибирский государственный университет им. Ленинского комсомола (53) 621.65(088,8) (56) 1. Патент США И - 3827829, кл. 4 17-49, опублик. 1974.

2. Авторское свидетельство СССР

У 528386, кл. F 04 В. 37/02, 1.975. ь (54) (57) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус-анод, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин, установленных перпендикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от. испарителя-катода и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего.

101

Составитель В. Кряковкин

Техред И.Асталош Корректор И. Эрдейи

Редактор О. Головач

Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-З. ; Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3719/31

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1. 1160

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыпяемыми геттерами.

Известен сорбционный вакуумный 5 насос, содержащий корпус, помещенный в магнитное поле, и расположенный в корпусе дуговой геттерный испаритель-катод в виде кольца, в центре которого установлен ячеистый анод 1 ).

Недостатком данного насоса является невысокая быстрота действия по инертным газам вследствие затрудненного попадания плазмы дугового разряда в ячейки анода из-за ухода 15 электронов плазмы вдоль силовых линий магнитного поля насоса на корпус.

Наиболее близким к изобретению является сорбционный вакуумный .насос, содержащий корпус-анод, размещенный 20 в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид (2 ).

Однако существование в насосе в различных зонах дугового разряда . 25 и разряда Пеннинга и невозможность проникновения плазмы дугового разряда в зону разряда Пеннинга вследствие ухода электронов плазмы вдоль силовых линий магнитного поля снижают эффек- ЗО тивность ионизации откачиваемого газа, особенно в зоне разряда Пеннинга, а следовательно, и быстроту действия насоса, главным образом по инертным газам.

Цель изобретения — улучшение от. качных характеристик насоса.

Указанная цель достигается тем, что сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус-анод, размещенный 4р в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, снабжен электродами в виде газопроницаемых пла.стин, установленных перпендикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от испарителя-катода и имеющих, отрицательный потенциал относительно последнего. .На чертеже представлен насос,про-. дольный разрез.

Сорбционный вакуумный насос содержит корпус-анод 1, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испарителькатод 2 и расположенный на корпусеаноде 1 соленоид 3 и снабжен .электродами в виде газопроницаемых пластин

4, установленных перпе*дикулярно оси корпуса"анода 1 rio обеим сторонам от. испарителя-катода 2 и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего.

Насос работает следующим образом.

При запуске насоса в промежутке . между корпусом-анодом 1, испарителемкатодом 2 и пластинами 4 инициируются дуговой разряд и разряд Пеннинга.

Дуговой разряд возникает между корпусом-анодом 1 и испарителем-катодом 2 и характеризуется наличием катодных пятен вакуумной дуги, которые, хаотически перемещаясь по поверхности геттерного испарителя-катода 2, испаряют геттер и генерируют поток нейтральной плазмы, занимающий весь промежуток между корпусом-анодом 1 и испарителем-катодом 2. Вбпизи корпуса-анода

1 электроны плазмы дугового разряда . дрейфуют в скрещенных электрическом и магнитном полях, образуя так называемый "холловский слой", характерный для разряда Пфннинга. Уходу электронов вдоль силовых линий магнитного поля препятствует отрицательный потенциал пластин 4, напичие которых создает условия для существования в одном разрядном промежутке двух. типов разряда — дугового и Пеннинга.

В этом разрядном промежутке происходит интенсивная ионизация молекул откачиваемых газов,. обеспечивающая большую быстроту действия насоса.