ТХИР СТЕПАН ГРИГОРЬЕВИЧ

  СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ОКИСНЫХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что измеряют ток вторично-электронной эмиссии, отличающийся тем, что, с целью обеспечения контроля в процессе изготовления пленки и упрощения способа, регистрируют ток экзоэлектронов , возникающих в процессе окисления материала подложки, и о Толщине пленки судят по величине общего заряда эмиттированных экзоэлектр...