ПЕРОВА Н.И.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДП- -v МИКРОСХЕМ МЕТОДОМ ПОШАГОВОГО РЕПРОДУЦИРОВАНИЯ , включающий процессы окисления Si-подложки, фотолитографического травления кремния в Ьбласти знаков сов 1ещения на кремн гевых пластинах через маску окисла, ; удаления окисла, окисления кремния, локального окисления кремния в пассивных областях микрд схем через маску из SijNi, окисления под затвор, фотолит...