Аешин А.И.

 Способ изготовления варикапов, включающий облучение протонами и последующий термический отжиг, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения чувствительности варикапов к малым напряжениям, облучение проводят протонами с энергией, для которой параметры Rp и Rp удовлетворяют условию Lpn< Rp-4Rp< Lpn+LD, где Lpn - требуемая глубина залегания металлургичес...