Способ изготовления варикапов

Способ изготовления варикапов

Реферат

Способ изготовления варикапов, включающий облучение протонами и последующий термический отжиг, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения чувствительности варикапов к малым напряжениям, облучение проводят протонами с энергией, для которой параметры R_p и R_p удовлетворяют условию L_pn< R_p-4R_p< L_pn+L_D, где L_pn - требуемая глубина залегания металлургической границы p - n-перехода или толщина слоя металла для варикапов на основе диода Шоттки; L_D - требуемая протяженность области пространственного заряда при нулевом смещении; R_p - проецированный пробег протонов; R_p - среднеквадратичный разброс пробегов, а термический отжиг в температурном диапазоне от 570 до 820 К.