PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Сахаров Ю.Г.

Изобретатель Сахаров Ю.Г. является автором следующих патентов:

Способ изготовления структур кремниевых интегральных схем с диэлектрической изоляцией компонентов

Способ изготовления структур кремниевых интегральных схем с диэлектрической изоляцией компонентов

 (19)SU(11)1222149(13)A1(51)  МПК 5    H01L21/74(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТРУКТУР КРЕМНИЕВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ КОМПОНЕНТОВ Изобретение относится к производству полупроводниковых микросхем, в частности к изготовлению структ...

1222149

Способ определения кислорода в пленках кремния

Способ определения кислорода в пленках кремния

 1. Способ определения кислорода в пленках кремния, включающий нанесение пленки кремния, определение количества материала пленки и последующую количественную регистрацию, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, параллельно наносят контрольную пленку на подложку, не реагирующую со щелочами, весовым методом регистрируют количество нанесенной пленки, обрабатывают раствором щелочи,...

1280999