Способ определения кислорода в пленках кремния

Способ определения кислорода в пленках кремния

Реферат

 

1. Способ определения кислорода в пленках кремния, включающий нанесение пленки кремния, определение количества материала пленки и последующую количественную регистрацию, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, параллельно наносят контрольную пленку на подложку, не реагирующую со щелочами, весовым методом регистрируют количество нанесенной пленки, обрабатывают раствором щелочи, определяют в ней кремний спектрофотометрическим методом и по разности веса пленки и количества кремния судят о количестве кислорода.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что кремний переводят в молибденокремниевый комплекс с последующим его восстановлением.