Плотников М.В.

 1. Способ определения кислорода в пленках кремния, включающий нанесение пленки кремния, определение количества материала пленки и последующую количественную регистрацию, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, параллельно наносят контрольную пленку на подложку, не реагирующую со щелочами, весовым методом регистрируют количество нанесенной пленки, обрабатывают раствором щелочи,...