Крикавцов В.И.

 Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния путем гидрохлорирования кремния в кипящем слое, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения степени конверсии хлористого водорода, процесс ведут при линейной скорости 0,18 - 0,28 м/с, высоте кипящего слоя 3,5 - 4,5 м и среднем эквивалентном диаметре частиц кремния 400 - 800 мкм.